第一代三维扫描仪：点测量

代表系统有：三坐标测量仪；点激光测量仪；关节臂扫描仪（精度不高）通过每一次的测量点反映物体表面特征，优点是精度高，但速度慢，如果要做逆向工程，只能在测量较规则物体上有优势。

定义：适合做物体表面误差检测用。

第二代三维扫描仪：线测量

代表系统有：三维台式激光扫描仪，三维手持式激光扫描仪，关节臂+激光扫描头。通过一段（一般为几公分，激光线过长会发散）有效的激光线照射物体表面，再通过传感器得到物体表面数据信息。

定义：适合扫描中小件物体，扫描景深小（一般只有5公分），精度较低，此代系统是发展比较成熟的,受产品原理影响目前已经是过渡性产品。

第三代三维扫描仪：面扫描

代表系统：拍照式三维扫描仪 ， 结构光、光栅式扫描仪，三维摄影测量系统等。通过一组（一面光）光栅的位移，再同时经过传感器而采集到物体表面的数据信息